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大気圧プラズマ
大気圧プラズマ
ダイレクト（直接放電）方式
“ダイレクト方式 大気圧プラズマ表面改質装置” は処理対象素材の表面直近で、プラズマを発生させるため、表面改質、微小異物除去等の効果が高く、高速処理が可能です。
プラズマ処理用ガスとプラズマ電極冷却用エアを完全に分離しているため、様々なガスによるプラズマ処理が可能です (*1)
大気圧プラズマ ダイレクトタイプ
SUS304 親水性向上サンプル
ダイレクト方式の大気圧プラズマは、プラズマ電極の放電面と対向するアース板もしくは導電性の素材間に強い電界を発生させ、この電界中に処理用ガスを導入することで、プラズマを発生させます。
大気圧中ではプラズマ放電の距離は1.5mm～1.7mm程度と短いですが、処理対象物表面に直接作用するため、短時間で強力な処理が可能です。
ダイレクト方式大気圧プラズマ の開発工程では、N2（窒素）、乾燥空気(*2)による処理を中心に調整、改良を進め、各種素材にて親水性の向上（接触角低下）等、大きな表面改質効果を確認しております。
プラズマ処理対象素材は、処理対象面が平面で、厚みが１mm以内の導電、非導電材 もしくは、素材自体に導電性のある金属素材等に適しています。
大気圧プラズマとしては、高速で強力な処理が可能ですが、対象素材に高電圧がかかるため、素材によっては検証テストが必要です。
生産装置対応
別途プラズマ電源ユニットが必要です
生産装置対応のダイレクトタイプ（100V仕様）
100V仕様の電源に限定することで低価格、手軽な運用を実現しています。
プラズマ放電サイズは幅８０mm×奥行２５mmを標準品としていますが、
お客様の使用目的に合わせてサイズの変更も可能です。
＊放電面積が2000m㎡以内でのサイズ変更となります。
＊処理幅100mmを超える場合は原則として複数機千鳥配列となります。
処理ガス供給部をプラズマ発生部とは別部品としていますので、様々なガスを供給可能です。
（＊可燃性ガス、腐食性ガス、液化結露しやすいガス等は使用できません）
商品カタログ
（処理ガス供給ノズル未装着）
底面白色部からアース板に向けてプラズマ放電します。
プラズマ放電範囲80mm×25mm
本体寸法 幅105×奥行61mm×高さ27mm(処理ガス供給ノズル部含む）
白色部の周囲１０mmの範囲は漏電対策のため放電しません。
冷却用エアを20L/min以上供給することで連続使用可能
プラズマ放電寸法変更カスタマイズ例 （処理ガス供給ノズル付き）
放電範囲変更カスタマイズモデル
プラズマ放電範囲90mm×22mm
本体寸法 幅115×奥行58mm×高さ27mm(処理ガス供給ノズル部含む）
白色部の周囲１０mmの範囲は漏電対策のため放電しません。
＊性能、耐久性向上のため、外観、材質等を変更する場合があります。
オプション流量計
HV-120 標準電源ユニット （写真はHV-120RE外部コントロール仕様）
アクア製大気圧プラズマジェット専用高圧電源ユニットです。
AC100V仕様で手軽に運用できます。
処理ガス用流量計を取り付けできます。（オプション）
DPシリーズ使用時は、電圧調整器（スライダック等 別売）が必要です
プラズマ照射によって、アルコール洗浄等物理洗浄では得られない表面改質効果が得られます
各種素材のプラズマ照射（処理ガスN２）による撥水性の変化
処理前後の撥水性（接触角）を測定
素材メーカー、素材の品質、保管状態等によって撥水性は変化します
素材や処理条件によっては、十分な効果を得られない場合があります
注意 ! !
ダイレクトタイプはプラズマ電極とアース板間に高電圧が流れます。
処理中は決して手や体を近づけないよう注意して下さい。
装置のアース（電源コードのアース）は確実に接続してください。
アース接続が不十分な場合、重大な感電事故につながる可能性があります。
(*1) 可燃性、腐食性、有毒性のあるガスは使用できません。
アルゴン、ヘリウム等絶縁破壊電圧の低いガスはプラズマ電極周辺が漏電を起こし易くなるため注意が必要です。
(*2) 処理ガスとして乾燥空気等酸素を含むガスを使用すると高濃度のオゾンが発生します。 使用には十分な換気設備が必要です
大気圧プラズマ開発は、株式会社NTP 代表取締役社長 佐々木亘 氏（宮崎大学名誉教授）の技術サポートを頂いております。
“平成２８年度補正 革新的ものづくり・商業・サービス開発支援補助金” の交付を受け、新商品の開発を進めています。
“平成２５年度補正 中小企業・小規模事業者ものづくり・商業・サービス革新事業” の交付を受け、商品としての完成度を上げて参りました。