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ダイレクト(直接放電)方式
“ダイレクト方式 大気圧プラズマ表面改質装置” は処理対象素材の表面直近で、プラズマを発生させるため、表面改質、微小異物除去等の効果が高く、高速処理が可能です。
プラズマ処理用ガスとプラズマ電極冷却用エアを完全に分離しているため、様々なガスによるプラズマ処理が可能です (*1)
大気圧プラズマ ダイレクトタイプ